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低压条件下高灵敏度拉压式传感器的设计与应用

来源:澳门合法搏彩网作者:发表时间:2018-12-26 08:50:29

      如今,环境问题和气候变化是一个巨大的全球性问题,拉压式传感器在环境监测中发挥着至关重要的作用。这种传感器在各种研究项目中具有广泛的应用,并且还被气象站广泛使用。可以检测最微小压力变化的高质量低压传感器安装在测量高压大气压的无线电探空仪中。类似地,这种拉压式传感器可以检测由于高度变化引起的低压变化。它们非常精密,即使在楼梯间,它们也可以根据高度变化读取压力变化的变化!澳门合法搏彩网拉压式传感器还可用于精确测量3D导航和空间定向中的低压变化。
 
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不同类型的拉压式传感器
      随着微机电系统(MEMS)的发展,市场上已经引入了不同型号的基于MEMS的低压传感器。根据它们使用的原理,压力传感器可以采用拉压式,谐振式,电容式等形式。在所有这些中,拉压式传感器是最受欢迎和广泛使用的。这是因为它们具有显着的优点,例如对压力变化的最低变化的高灵敏度,准确的读数,可重复性和出色的线性度。当器件暴露在环境中时,这些器件基于压敏电阻器低压传感器的电阻来记录压力。
拉压式传感器传感器配置
      澳门合法搏彩网这种类型的传感器具有四个压电电阻器,方形膜和膜上的横梁。该梁包括三层,即硅层,铝层和隔离层。四个压电电阻器嵌入硅层中。
      在所使用的四个压阻传感器中,两个垂直地位于膜的两侧。当膜暴露于增加的压力时,它们检测到压力的变化,因为它们的阻力增加。
      另外两个压电电阻器与膜平行,它们的电阻随着压力的增加而减小。四个压电电阻通过电桥连接。
拉压式传感器的应用
      除了广泛用于测量大气和高海拔的低压变化外,拉压式传感器还有其他几种应用。
      这种低压传感器广泛用于医疗应用中,用于测量体内的超低血压波动。
      它们还用于测量使用触摸技术或采用敏感E-skin技术设计的低压变化(特别是低于100 Pa)。
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